质量标准:
分子式:HF 分子量:20.01 | |||
序号 |
项目 |
单位 |
规格值 |
1 |
氢氟酸 (HF) |
wt% |
≥99.999 |
2 |
氯化物(Cl) |
ppb |
≤100 |
3 |
硝酸盐 (NO3) |
ppb |
≤100 |
4 |
磷酸盐(PO4) |
ppb |
≤100 |
5 |
硫酸盐(SO4) |
ppb |
≤100 |
6 |
硅(Si) |
ppb |
≤100 |
7 |
铁(Fe) |
ppb |
≤50 |
8 |
镍(Ni) |
ppb |
≤50 |
9 |
铬(Cr) |
ppb |
≤50 |
10 |
铜(Cu) |
ppb |
≤50 |
11 |
钠(Na) |
ppb |
≤50 |
12 |
钙(Ca) |
ppb |
≤50 |
性状:
无色透明液体,在空气中冒白烟,有强烈刺激性气味,剧毒,并有强烈的腐蚀性,沸点19.5℃。
用途:
半导体蚀刻。
贮存:
贮存在带棚的库房中。严禁暴晒,严禁与易爆物品混放。
运输:
按一级无机酸性腐蚀物品对待。
包装:
用中压高纯钢瓶包装,每瓶4L、10L、40L或依客户要求。